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寸法

mm (inches)
重量: 8.3 Kg  (18.4 lbs)

S neox Cleanroom sensor dimensions

テクノロジー

icon_Confocal_rgb_80x80

共焦点法

icon_Interferometry_rgb_80x80

干渉法
PSI | ePSI | CSI

icon_FocusVariation_rgb_80x80

Ai 焦点移動法

光源

icon_RedLight

630 nm

icon_GreenLight

530 nm

icon_BlueLight

460 nm

icon_WhiteLight

575 nm

対物レンズ性能

明視野
MAG 5X BF 10X BF 20X BF 50X BF 100X< BF/span> 150X EPI
NA 0.15 0.30 0.45 0.80 0.90 0.90
WD (mm) 20.0 15.8 3.0 1.0 1.0 1.5
FOV1 (µm) 3378 x 2826 1689 x 1413 845 x 707 338 x 283 169 x 141 113 x 94
空間サンプリング2 (µm) 1.38 0.69 0.34 0.13 0.07 0.05
光学分解能3 (µm) 0.94 0.47 0.31 0.18 0.35 0.16
システムノイズ4 (nm) 105 30 8 4 3 2
最大傾斜5 (º) 9 17 27 53 64 64

1 3/2”カメラと0.5倍の光学系による最大視野.   2 表面のピクセルサイズ.   3 L&S: ライン&スペース、レイリー基準による回折限界の半分の値、 空間サンプリングは干渉対物レンズの光学分解能を制限する可能性があります。青色LEDによる値。  4 システムノイズは、光学軸に対して垂直に配置されたキャリブレーションミラ ーにおいて、連続する２つ測定値の差として計測。5 滑らかな表面面上での値。散乱面上で最大傾斜 86º。

干渉
MAG 5X MC 10X MC 10X MR 20X MC 20X MR 50X MR 100X MR
NA 0.14 0.10 0.28 0.10 0.38 0.50 0.70
WD (mm) 13.0 25.0 8.0 16.7 6.0 3.6 2.0
FOV1 (µm) 3378 x 2826 1689 x 1413 1689 x 1413 845 x 707 845 x 707 338 x 283 169 x 141
空間サンプリング2 (µm) 1.38 0.69 0.69 0.34 0.34 0.13 0.07
光学分解能3 (µm) 1.00 1.40 0.50 1.40 0.37 0.28 0.20
システムノイズ4 (nm) PSI / ePSI   0.1 nm  (0.01 nm with PZT)        CSI 1 nm
最大傾斜5 (º) 8 6 16 6 22 30 44

1 3/2”カメラと0.5倍の光学系による最大視野.   2 表面のピクセルサイズ.   3 L&S: ライン&スペース、レイリー基準による回折限界の半分の値、 空間サンプリングは干渉対物レンズの光学分解能を制限する可能性があります。青色LEDによる値。  4 システムノイズは、光学軸に対して垂直に配置されたキャリブレーションミラ ーにおいて、連続する２つ測定値の差として計測。干渉対物レンズ、PSIの場合、10の位相の平均。温度制御室でピエゾステージスキャナを使用することで 0.01 nm まで達成可能。緑色LEDでの値 (CSIは白色LED)。解像度 HD。VC-Eの環境振動で測定。  5 滑らかな表面面上での値。散乱面上で最大傾斜 86º。

Z 性能

Z COARSE (Linear stage) FINE (Piezoelectric scanner with capacitive sensor)
Vertical range 40 mm 200 µm
Resolution 5 nm 1.25 nm

精度＆再現性

Standard Value U, σ Technique
Step height 48600 nm U=300 nm, σ= 10 nm Confocal & CSI
7616 nm U=79 nm, σ= 5 nm Confocal & CSI
941.6 nm
 U=7 nm, σ= 1 nm Confocal & CSI
186 nm U=4 nm, σ= 0.4 nm Confocal & CSI
44.3 nm U=0.5 nm, σ= 0.1 nm PSI
10.8 nm U=0.5 nm, σ= 0.05 nm PSI
Areal roughness (Sa)7 0.79 µm U=0.04 µm, σ=0.0005 µm Confocal, AiFV & CSI
Profile roughness (Ra)8 2.40 µm U=0.03 µm, σ= 0.002 µm Confocal, AiFV & CSI
0.88 µm U=0.015 µm, σ= 0.0005 µm Confocal, AiFV & CSI
0.23 µm U=0.005 µm, σ= 0.0002 µm Confocal, AiFV & CSI

共焦点とAi焦点移動で使用する対物レンズは 50X 0.80 NA、CSIおよびPSIでは 50X 0.50NA。解像度 1220×1024ピクセル。全測定で PZT使用。不確定度(U)は以下に
拠る：ISO/IECガイド 98-3:2008 GUM:1995, K=1,96 (level of confidence 95%)。σは25回測定による。
7 面積 1×1 mm。   8 プロファイル 4 mm長。

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