テクノロジー 共焦点法 干渉法 PSI | ePSI | CSI Ai焦点移動法 光源 630nm 530nm 460nm 575nm 寸法 ベース & コラム コントローラー 対物レンズ性能 共焦点法 / Ai焦点移動法 1 3/2インチカメラおよび0.5倍オプティクス使用時の最大視野(FOV)。 2 表面でのピクセルサイズ。 3 L&S: ライン＆スペース。青色LEDによる値。 4 システムノイズは、光学軸に対して垂直に配置された補正ミラーにおいて、連続する２つ測定値の差として計測 5 滑らかな面上で最大傾斜 71º。散乱面上で最大傾斜 86º。 PSI / ePSI / CSI Other objectives available: Variable reflectance | Michelson | Mirau | Linnik 1 3/2インチカメラおよび0.5倍オプティクス使用時の最大視野(FOV)。 2 表面でのピクセルサイズ。 3 L&S: ライン＆スペース。青色LEDによる値。 4 システムノイズは、光学軸に対して垂直に配置された補正ミラーにおいて、連続する２つ測定値の差として計測。干渉用対物レンズ、PSIの場合、防振機能を有効にした状態で10の位相の平均。温度制御室でピエゾステージスキャナを使用することで 0.01 nm まで達成可能。緑色LEDでの値 (CSIは白色LED)。解像度 HD。 精度＆再現性 共焦点とAi焦点移動で使用する対物レンズは 50X 0.80 NA、CSIおよびPSIでは 50X 0.50NA。解像度 1220×1024ピクセル。全測定で PZT使用。不確定度(U)は以下に拠る：ISO/IECガイド 98-3:2008 GUM:1995, K=1,96 (level of confidence 95%)。 回転ステージ 値は全て、温度20±1℃の防振環境下でISO1101に準拠する 。 コンピュータ & オペレーティングシステム ご不明な点がございましたらお問い合わせください。 メールをご送付いただくか ご不明な点がございましたらお問い合わせください。
MAG
5X BF
10X BF
20X BF
50X BF
100X BF
150X EPI
NA
0.15
0.30
0.45
0.80
0.90
0.90
WD (mm)
23.5
17.5
4.5
1.0
1.0
1.5
FOV1 (µm)
3378 x 2826
1689 x 1413
845 x 707
338 x 283
169 x 141
113 x 94
空間サンプリング2 (µm)
1.38
0.69
0.34
0.13
0.07
0.05
光学分解能3 (µm)
0.94
0.47
0.31
0.18
0.16
0.16
システムノイズ4 (nm)
100
30
8
4
3
2
最大傾斜5 (º)
9
17
27
53
64
64
MAG
5X BF
10X BF
20X BF
50X BF
100X BF
150X EPI
システムノイズ4 (nm)
100
30
8
4
3
2
最大傾斜5 (º)
9
17
27
53
64
64
MAG
5X MC
10X MC
10X MR
20X MC
20X MR
50X MR
100X MR
NA
0.14
0.10
0.28
0.10
0.38
0.50
0.70
WD (mm)
13.0
25.0
8.0
16.7
6.0
3.6
2.0
FOV1 (µm)
3378 x 2826
1689 x 1413
1689 x 1413
845 x 707
845 x 707
338 x 283
169 x 141
空間サンプリング2 (µm)
1.38
0.69
0.69
0.34
0.34
0.13
0.07
光学分解能3 (µm)
1.00
1.40
0.50
1.40
0.37
0.28
0.20
システムノイズ4 (nm)
PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm with PZT) CSI 1 nm
最大傾斜5 (º)
8
6
16
6
22
30
44
MAG
5X MC
10X MC
10X MR
20X MC
20X MR
50X MR
100X MR
システムノイズ4 (nm)
PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm with PZT) CSI 1 nm
最大傾斜5 (º)
8
6
16
6
22
30
44
5 滑らかな面上で最大傾斜 71º。散乱面上で最大傾斜 86º。
Standard
Value
U, σ
Technique
Step height
48600 nm
U=300 nm, σ= 10 nm
Confocal & CSI
7616 nm
U=79 nm, σ= 5 nm
Confocal & CSI
941.6 nm
U=7 nm, σ= 1 nm
Confocal & CSI
186 nm
U=4 nm, σ= 0.4 nm
Confocal & CSI
44.3 nm
U=0.5 nm, σ= 0.1 nm
PSI
10.8 nm
U=0.5 nm, σ= 0.05 nm
PSI
Areal roughness (Sa)7
0.79 µm
U=0.04 µm, σ=0.0005 µm
Confocal, AiFV & CSI
Profile roughness (Ra)8
2.40 µm
U=0.03 µm, σ= 0.002 µm
Confocal, AiFV & CSI
0.88 µm
U=0.015 µm, σ= 0.0005 µm
Confocal, AiFV & CSI
0.23 µm
U=0.005 µm, σ= 0.0002 µm
Confocal, AiFV & CSI
σは25回測定による。
7 面積 1×1 mm。 8 プロファイル 4 mm長。
Max. measurable diameter
200 mm
Max. clamping diameter10
20 mm
Max. workpiece weight
3 Kg
Accuracy (A)
5 Arc sec/º
Bidirectional repeatability (A)
10 Arc sec
Resolution (B)
0.5 Arc sec
Straightness error11
3.6 µm / 40 mm
Parallelism error11
53.9 µm / 40 mm
Flatness error12
20 µm
10 ER32 コレットホルダ。 11 St平坦度偏差はISO25178-2に準拠し、SiC参照用平面ミラーと20倍対物レンズを共焦点モードで計測した値。 12 値は全て、20倍対物レンズを用いて、共焦点モード、評価距離 40mm で計測。
PC
8th generation Intel® Core™ i7 Processor
画面 3840×2160 pixels resolution (4K)(27″)
オペレーティングシステム
Microsoft Windows 10, 64ビット版の
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