テクノロジー 共焦点法 干渉法 VSI 焦点移動法 光源 550nm 寸法 対物レンズ性能 共焦点法 焦点移動法 利用可能なその他の対物レンズ （共焦点法 / 焦点移動法）: 液浸 | 長作動距離 | 超長作動距離 | ガラス厚補正 1 2/3”カメラと0.5Xオプティクスによる最大視野。 2 表面のピクセルサイズ。 3 L&S: ライン＆スペース、レイリーの基準に従った回折限界の半分。白色LEDの値。空間サンプリングが干渉対物レンズの光学分解能を制限する可能性があります。 4 明視野対物レンズの場合、21走査面（共焦点）。 5 光軸に対して垂直に配置したキャリブレーションミラー上の2つの連続した測定間の差として測定されるシステムノイズ。 6 滑らかな表面の場合、粗い表面では最大72º。 VSI 1 2/3”カメラと0.5Xオプティクスによる最大視野。 2 表面のピクセルサイズ。 3 L&S: ライン＆スペース、レイリーの基準に従った回折限界の半分。白色LEDの値。空間サンプリングが干渉対物レンズの光学分解能を制限する可能性があります。 4 干渉対物レンズの場合、10 µm走査レンジ。 5 光軸に対して垂直に配置したキャリブレーションミラー上の2つの連続した測定間の差として測定されるシステムノイズ。 6 滑らかな表面の場合、粗い表面では最大72º。 ストレージ性能 コンピュータ & オペレーティングシステム 画面 HP27i 2560×1440 px ご不明な点がございましたらお問い合わせください。 メールをご送付いただくか ご不明な点がございましたらお問い合わせください。
MAG
2.5X
5X
10X
20X
50X
100X
150X
NA
0.075
0.15
0.30
0.45
0.80
0.90
0.95
WD (mm)
6.5
23.5
17.5
4.5
1.0
1.0
0.2
FOV1 (µm)
7016 x 5280
3508 x 2640
1754 x 1320
877 x 660
351 x 264
175 x 132
117 x 88
Spatial sampling2 (µm)
5.16
2.58
1.29
0.65
0.26
0.13
0.09
Optical resolution3 (µm)
2.23
1.11
0.55
0.37
0.21
0.18
0.17
Measurement time4 (s)
>3
Vertical resolution5 (nm)
–
75
25
8
3
2
1
Maximum slope6 (º)
–
8
14
21
42
51
71
Min. measurable roughness
Sa > 10 nm
Maximum slope
up to 86º
MAG
5X
10X
20X
50X
100X
NA
0.13
0.30
0.40
0.55
0.70
WD (mm)
9.3
7.4
4.7
3.4
2.0
FOV1 (µm)
3508 x 2640
1754 x 1320
877 x 660
351 x 264
175 x 132
Spatial sampling2 (µm)
2.58
1.29
0.65
0.26
0.13
Optical resolution3 (µm)
2.58
1.29
0.65
0.25
0.20
Measurement time4 (s)
>3
Vertical resolution5 (nm)
1
Maximum slope6 (º)
8
14
21
25
42
Z
LINEAR SCALE
Vertical range
40 mm (1.6″)
Linearity
<0.5 µm/mm
Resolution
2 nm
PC
HP Z230SSF
オペレーティングシステム
64 ビット版のMicrosoft Windows 10
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S lynx
Compact 3D Surface Profiler
Brightfield
Interferometric
