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Abmessungen

mm (Zoll)
Gewicht: 5.3 Kg  (11.7 lbs)

S mart sensor dimensions

Technologien

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Konfokal

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Interferometrie
VSI

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Fokusvariation

Lichtquellen

icon_WhiteLight

550 nm

Objektivlinsen

Brightfield
MAG 5X BF 10X BF 20X BF 50X BF 100X BF
NA 0.15 0.30 0.45 0.80 0.90
WD (mm) 20.00 15.80 3.00 1.00 1.00
Sehfeld FOV1 (µm) 2826 x 2826 1413 x 1413 707 x 707 283 x 283 141 x 141
Räumliche Abtastung2 (µm) 2.76 1.38 0.69 0.27 0.14
Optische Auflösung3 (µm) 0.94 0.47 0.31 0.18 0.16
Systemrauschen4 (nm) 120 45 10 4 3
Maximaler Flankenwinkel5 (º) 9 17 27 53 64

1 Max. Sehfeld (FOV) mit 2/3”-Kamera und 0.25X-Optik.   2 Pixelgröße auf der Oberfläche.   3 L&S: Line and Space, Hälfte der Diffraktionsgrenze gemäß Rayleigh-Kriterium. Werte für blaue LED.   4 Die Werte werden durch wiederholte Messungen an einem Referenzstandard ermittelt, die unter kontrollierten Umweltbedingungen gemäß den Metrologierichtlinien von Sensofar durchgeführt werden.   5 Auf glatten Oberflächen, bis 72º auf rauen Oberflächen. Weitere Objektive stehen zur Verfügung.

Interferometry
MAG 2.5X TI 5X MC 10X MC 10X MR 20X MC 20X MR 50X MR 100X MR
NA 0.075 0.14 0.10 0.28 0.10 0.38 0.50 0.70
WD (mm) 10.30 13.00 25.00 8.00 16.70 6.00 3.60 2.00
Sehfeld FOV1 (µm) 5652 x 5652 2826 x 2826 1413 x 1413 1413 x 1413 707 x 707 707 x 707 283 x 283 141 x 141
Räumliche Abtastung2 (µm) 5.52 2.76 1.38 1.38 0.69 0.69 0.27 0.13
Optische Auflösung3 (µm) 2.34 1.25 1.75 0.63 1.75 0.46 0.35 0.25
Systemrauschen4 (nm) CSI <1 nm        ePSI   <0.1 nm
Maximaler Flankenwinkel5 (º) 4 8 6 16 6 22 30 44

1 Max. Sehfeld (FOV) mit 2/3”-Kamera und 0.25X-Optik.   2 Pixelgröße auf der Oberfläche.   3 L&S: Line and Space, Hälfte der Diffraktionsgrenze gemäß Rayleigh-Kriterium. Werte für weiße LED.   4 Die Werte werden durch wiederholte Messungen an einem Referenzstandard ermittelt, die unter kontrollierten Umweltbedingungen gemäß den Metrologierichtlinien von Sensofar durchgeführt werden.   5 Auf glatten Oberflächen, bis 72º auf rauen Oberflächen. Weitere Objektive stehen zur Verfügung.

Z-Performance

Z LINEAR STAGE
Vertical range 20 mm (0.79″)
Resolution 5 nm
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