Profiler-Technologien Lichtquellen 630nm 530nm 460nm 575nm Abmessungen Objektivlinsen Konfokal / Ai Fokus Variation 1 Maximales Sichtfeld mit 3/2″-Kamera und 0.5X-Optik.  2 Pixelgröße auf der Oberfläche.  3 L&S: Line & Space. Werte fĂĽr blaue LED. 4 Systemrauschen gemessen als Differenz zwischen zwei aufeinanderfolgenden Messungen auf einem senkrecht zur optischen Achse angeordneten Kalibrierspiegel.  5 Auf glatten Oberflächen, bis zu 71Âş. Auf streuenden Oberflächen, bis zu 86Âş. PSI / ePSI / CSI 1 Max. Sichtfeld (FOV) mit 3/2”-Kamera und 0.5X-Optik.   2 Pixelgröße auf der Oberfläche.   3 L&S: Line and Space. Werte fĂĽr blaue LED.   4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgefĂĽhrter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist. FĂĽr PSI 10-Phasen-Durchschnitte mit aktivierter Vibrationsisolation. 0.01 nm werden beim Scannen mit dem Piezo-Tisch und im temperaturgesteuerten Raum erreicht. Werte fĂĽr grĂĽne LED (weiĂźe LED fĂĽr CSI). HD-Auflösung.  5 Auf glatten Oberflächen bis 71°. Auf streuenden Oberflächen bis 86°. Gantry XY-Tisch Zertifizierung Dieses System wurde sorgfältig entwickelt, um verschiedene Industriestandards wie SEMI S2 und S8 zu erfĂĽllen, und wurde auĂźerdem vom TĂśV Rheinland zertifiziert. Der S neox Cleanroom Reinraum-Sensorkopf wurde sorgfältig entwickelt, um mit der ISO-Klasse 1 und ESD-kompatibel zu sein. Erhalten Sie Antwort auf Ihre Fragen! Schreiben Sie uns einfach eine E-Mail oder suchen Sie Erhalten Sie Antwort auf Ihre Fragen! Schreiben Sie uns einfach eine E-Mail oder suchen Sie
mm (Zoll)
MAG
5X BF
10X BF
20X BF
50X BF
100X BF
150X EPI
NA
0.15
0.30
0.45
0.80
0.90
0.90
WD (mm)
20.00
15.80
3.00
1.00
1.00
1.50
FOV1 (µm)
3378 x 2826
1689 x 1413
845 x 707
338 x 283
169 x 141
113 x 94
Räumliche Abtastung2 (µm)
1.38
0.69
0.34
0.13
0.07
0.05
Optische Auflösung3 (µm)
0.94
0.47
0.31
0.18
0.16
0.16
Systemrauschen4 (nm)
115
30
8
4
3
2
Maximale Neigung5 (Âş)
9
17
27
53
64
64
MAG
5X BF
10X BF
20X BF
50X BF
100X BF
150X EPI
Systemrauschen4 (nm)
115
30
8
4
3
2
Maximale Neigung5 (Âş)
9
17
27
53
64
64
MAG
5X MC
10X MC
10X MR
20X MC
20X MR
50X MR
100X MR
NA
0.14
0.10
0.28
0.10
0.38
0.50
0.70
WD (mm)
13.00
25.00
8.00
16.70
6.00
3.60
2.00
FOV1 (µm)
3378 x 2826
1689 x 1413
1689 x 1413
845 x 707
845 x 707
338 x 283
169 x 141
Räumliche Abtastung2 (µm)
1.38
0.69
0.69
0.34
0.34
0.13
0.07
Optische Auflösung3 (µm)
1.00
1.40
0.50
1.40
0.37
0.28
0.20
Systemrauschen4 (nm)
PSI / ePSI  0.1 nm  (0.01 nm mit PZT)     CSI 1 nm
Maximale Neigung5 (Âş)
8
6
16
6
22
30
44
MAG
5X MC
10X MC
10X MR
20X MC
20X MR
50X MR
100X MR
Systemrauschen4 (nm)
PSI / ePSI  0.1 nm  (0.01 nm mit PZT)     CSI 1 nm
Maximale Neigung5 (Âş)
8
6
16
6
22
30
44
Positionierungssystem
Zweiachsige Gantry: XY-Verschiebung des Kopfes
Verfahrbereich (mm)
600 x 600
Verfahrgeschwindigkeit
Max. 1m/s
Steuerungstyp
Linearer Regelkreis
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S neox Grand Format
Hohe Präzision für ultragroße Proben
Hellfeld
Interferometrie
XY
