Technologien Konfokal Interferometrie PSI | ePSI | CSI Ai-Fokusvariation Lichtquellen 630 nm 530 nm 460 nm 575 nm Abmessungen Basis und Säule Steuerung Objektivlinsen-Leistung Konfokal/Ai-Fokusvariation 1 Max. Sichtfeld (FOV) mit 3/2”-Kamera und 0.5X-Optik. 2 Pixelgröße auf der Oberfläche. 3 L&S: Line and Space. Werte für blaue LED. 4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist. 5 Auf glatten Oberflächen bis 71°. Auf streuenden Oberflächen bis 86°. PSI / ePSI / CSI Andere Objektive auf Anfrage: Variable Reflexion | Michelson | Mirau | Linnik 1 Max. Sichtfeld (FOV) mit 3/2”-Kamera und 0.5X-Optik. 2 Pixelgröße auf der Oberfläche. 3 L&S: Line and Space. Werte für blaue LED. 4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist. Für PSI 10-Phasen-Durchschnitte mit aktivierter Vibrationsisolation. 0.01 nm werden beim Scannen mit dem Piezo-Tisch und im temperaturgesteuerten Raum erreicht. Werte für grüne LED (weiße LED für CSI). HD-Auflösung. Präzision und Wiederholbarkeit Für Konfokal und Ai-Fokusvariation genutztes Objektiv 50X0.80 NA; für CSI und PSI 50X0.55 N. Rotationstisch Alle Werte gemäß ISO1101 bei 20 ºC +/- 1º in vibrationsfreier Umgebung. Computer und Betriebssystem Erhalten Sie Antwort auf Ihre Fragen! Schreiben Sie uns einfach eine E-Mail oder suchen Sie Erhalten Sie Antwort auf Ihre Fragen! Schreiben Sie uns einfach eine E-Mail oder suchen Sie
MAG
5X BF
10X BF
20X BF
50X BF
100X BF
150X EPI
NA
0.15
0.30
0.45
0.80
0.90
0.90
WD (mm)
23.50
17.50
4.50
1.00
1.00
1.50
Sichtfeld (FOV)1 (µm)
3378 x 2826
1689 x 1413
845 x 707
338 x 283
169 x 141
113 x 94
Räumliche Abtastung2 (µm)
1.38
0.69
0.34
0.13
0.07
0.05
Optische Auflösung3 (µm)
0.94
0.47
0.31
0.18
0.16
0.16
Systemrauschen4 (nm)
100
30
8
4
3
2
Maximaler Flankenwinkel5 (º)
9
17
27
53
64
64
MAG
5X BF
10X BF
20X BF
50X BF
100X BF
150X EPI
Systemrauschen4 (nm)
100
30
8
4
3
2
Maximaler Flankenwinkel5 (º)
9
17
27
53
64
64
MAG
5X MC
10X MC
10X MR
20X MC
20X MR
50X MR
100X MR
NA
0.14
0.10
0.28
0.10
0.38
0.50
0.70
WD (mm)
13.00
25.00
8.00
16.70
6.00
3.60
2.00
Sichtfeld (FOV)1 (µm)
3378 x 2826
1689 x 1413
1689 x 1413
845 x 707
845 x 707
338 x 283
169 x 141
Räumliche Abtastung2 (µm)
1.38
0.69
0.69
0.34
0.34
0.13
0.07
Optische Auflösung3 (µm)
1.00
1.40
0.50
1.40
0.37
0.28
0.20
Systemrauschen4 (nm)
PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm mit PZT) CSI 1 nm
Maximaler Flankenwinkel5 (º)
8
6
16
6
22
30
44
MAG
2.5X TI
5X MC
10X MC
10X MR
20X MC
20X MR
50X MR
100X MR
Systemrauschen4 (nm)
PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm mit PZT) CSI 1 nm
Maximaler Flankenwinkel5 (º)
8
6
16
6
22
30
44
5 Auf glatten Oberflächen bis 71°. Auf streuenden Oberflächen bis 86°.
Standard
Wert
U, σ
Technik
Stufenhöhe
48600 nm
U=300 nm, σ= 10 nm
Konfokal und CSI
7616 nm
U=79 nm, σ= 5 nm
Konfokal und CSI
941.6 nm
U=7 nm, σ= 1 nm
Konfokal und CSI
186 nm
U=4 nm, σ= 0.4 nm
Konfokal und CSI
44.3 nm
U=0.5 nm, σ= 0.1 nm
PSI
10.8 nm
U=0.5 nm, σ= 0.05 nm
PSI
Flächenrauheit (Sa)7
0.79 µm
U=0.04 µm, σ=0.0005 µm
Konfokal, AiFV und CSI
Profilrauheit (Ra)8
2.40 µm
U=0.03 µm, σ=0.002 µm
Konfokal, AiFV und CSI
0.88 µm
U=0.015 µm, σ=0.0005 µm
Konfokal, AiFV und CSI
0.23 µm
U=0.005 µm, σ=0.0002 µm
Konfokal, AiFV und CSI
Auflösung 1220×1024 Pixel. Alle Messungen mit PZT.
Unsicherheit (U) nach ISO/IEC Guide 98-3:2008 GUM:1995, K=1.96 (Vertrauensniveau 95 %).
σ bei 25 Messungen.
7 Bereich 1x1mm. 8 Profillänge 4 mm.
Max. messbarer Durchmesser
200 mm
Max. Einspanndurchmesser10
20 mm
Max. Werkstückgewicht
3 kg
Genauigkeit (A)
5 Bogensekunden/°
Bidirektionale Wiederholbarkeit (A)
10 Bogensekunden
Auflösung (B)
0.5 Bogensekunden
Geradheitsfehler11
3.6 μm/40 mm
Parallelitätsfehler11
53.9 μm/40 mm
Ebenheitsfehler12
20 µm
10 ER32-Spannzangenhalter. 11 St Ebenheitsabweichung gemäß ISO25178-2, aufgenommen an einem SiC-Referenzflachspiegel mit 20X-Objektiv im konfokalen Aufnahmemodus. 12 Alle Werte mit einem 20X-Objektiv im konfokalen Aufnahmemodus und einer Auswertungslänge von 40 mm erfasst.
Computer
Intel® Core™ i7 Prozessor 8. Generation
Bildschirmauflösung 3840×2160 Pixel (4K) (27″)
Betriebssystem
Microsoft Windows 10, 64-Bit
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S neox Five Axis
Komplete 3D-Messlösung
Hellfeld
Interferometrie
