Technologien Lichtquelle 460nm 580nm Abmessungen Objektiv-Spezifikationen Konfokal / Ai Fokusvariation 1 Max. Sehfeld (FOV) mit 2/3”-Kamera und 0.25X-Optik. 2 Pixelgröße auf der Oberfläche. 3 L&S: Line and Space, Hälfte der Diffraktionsgrenze gemäß Rayleigh-Kriterium. Werte für blaue LED. 4 Die Werte werden durch wiederholte Messungen an einem Referenzstandard ermittelt, die unter kontrollierten Umweltbedingungen gemäß den Metrologierichtlinien von Sensofar durchgeführt werden. 5 Auf glatten Oberflächen, bis 72º auf rauen Oberflächen. Weitere Objektive stehen zur Verfügung. 1 Max. Sehfeld (FOV) mit 2/3”-Kamera und 0,25X-Optik. 2 Pixelgröße auf der Oberfläche. 3 L&S: Line and Space, Hälfte der Diffraktionsgrenze gemäß Rayleigh-Kriterium. Werte für weiße LED. 4 Die Werte werden durch wiederholte Messungen an einem Referenzstandard ermittelt, die unter kontrollierten Umweltbedingungen gemäß den Metrologierichtlinien von Sensofar durchgeführt werden. 5 Auf glatten Oberflächen, bis 72º auf rauen Oberflächen. Weitere Objektive stehen zur Verfügung. Präzision und Wiederholbarkeit Werte, die in einer VC-E-Schwingungsumgebung ermittelt wurden. Objektiv für konfokale und Ai-Fokusvariation 50X 0.80 NA und für CSI 50X 0.50NA. Auflösung 1024×1024 Pixel. Erweiterte Unsicherheit (U) nach ISO/IEC-Leitfaden 98-3:2008 GUM:1995, K=1.96 (Konfidenzniveau 95%). σ nach 25 Messungen. Computer und Betriebssystem Erhalten Sie Antwort auf Ihre Fragen! Schreiben Sie uns einfach eine E-Mail oder suchen Sie Erhalten Sie Antwort auf Ihre Fragen! Schreiben Sie uns einfach eine E-Mail oder suchen Sie
MAG
5X BF
10X BF
20X BF
50X BF
100X BF
NA
0.15
0.30
0.45
0.80
0.90
WD (mm)
20.00
15.80
3.00
1.00
1.00
Sehfeld FOV1 (µm)
2826 x 2826
1413 x 1413
707 x 707
283 x 283
141 x 141
Räumliche Abtastung2 (µm)
2.76
1.38
0.69
0.27
0.14
Optische Auflösung3 (µm)
0.94
0.47
0.31
0.18
0.16
Systemrauschen4 (nm)
120
45
10
4
3
Maximaler Flankenwinkel5 (º)
9
17
27
53
64
MAG
5X BF
10X BF
20X BF
50X BF
100X BF
Systemrauschen4 (nm)
120
45
10
4
3
Maximaler Flankenwinkel5 (º)
9
17
27
53
64
MAG
2.5X TI
5X MC
10X MC
10X MR
20X MC
20X MR
50X MR
100X MR
NA
0.075
0.14
0.10
0.28
0.10
0.38
0.50
0.70
WD (mm)
10.30
13.00
25.00
8.00
16.70
6.00
3.60
2.00
Sehfeld FOV1 (µm)
5652 x 5652
2826 x 2826
1413 x 1413
1413 x 1413
707 x 707
707 x 707
283 x 283
141 x 141
Räumliche Abtastung2 (µm)
5.52
2.76
1.38
1.38
0.69
0.69
0.27
0.13
Optische Auflösung3 (µm)
2.34
1.25
1.75
0.63
1.75
0.46
0.35
0.25
Systemrauschen4 (nm)
CSI <1 nm ePSI <0.1 nm
Maximaler Flankenwinkel5 (º)
4
8
6
16
6
22
30
44
MAG
2.5X TI
5X MC
10X MC
10X MR
20X MC
20X MR
50X MR
100X MR
Systemrauschen4 (nm)
CSI <1 nm ePSI <0.1 nm
Maximaler Flankenwinke5 (º)
4
8
6
16
6
22
30
44
Norm
Wert
Unsicherheit (U)
Wiederholbarkeit (σ)
Technologie
Stufenhöhe (H)
<10 µm
U= (0.005 + H/50) μm
<10 nm
Konfokal, AiFV und CSI
>10 µm
U = (0.120 + H/120) μm
>10 nm
Konfokal, AiFV und CSI
Flächenrauheit (Sa)
0.79 µm
40 nm
6 nm
Konfokal, AiFV und CSI
Computer
Intel® Core™ i5/i7 Prozessor-Ethernet-Konnektivität,
mindestens 1920 x 1080 Bildschirmauflösung
Betriebssystem
Microsoft Windows 10 oder höher
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