mm (Zoll) 630 nm 530 nm 460 nm 575 nm 1 Max. Sichtfeld (FOV) mit 3/2”-Kamera und 0.5X-Optik. 2 Pixelgröße auf der Oberfläche. 3 L&S: Line and Space. Werte für blaue LED. 4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist. 5 Auf glatten Oberflächen bis 71°. Auf streuenden Oberflächen bis 86°. 1 Max. Sichtfeld (FOV) mit 3/2”-Kamera und 0.5X-Optik. 2 Pixelgröße auf der Oberfläche. 3 L&S: Line and Space. Werte für blaue LED. 4 Systemrauschen gemessen als Differenz zweier direkt nacheinander durchgeführter Messungen am selben Ort auf einem Kalibrationsspiegel, der senkrecht zur optischen Achse positioniert ist. Für PSI 10-Phasen-Durchschnitte mit aktivierter Vibrationsisolation. 0,01 nm werden beim Scannen mit dem Piezo-Tisch und im temperaturgesteuerten Raum erreicht. Werte für grüne LED (weiße LED für CSI). HD-Auflösung. 5 Auf glatten Oberflächen bis 71°. Auf streuenden Oberflächen bis 86°. Für Konfokal und Ai-Fokusvariation genutztes Objektiv 50X0.80 NA; für CSI und PSI 50X0.55 N. Erhalten Sie Antwort auf Ihre Fragen! Schreiben Sie uns einfach eine E-Mail oder suchen Sie Erhalten Sie Antwort auf Ihre Fragen! Schreiben Sie uns einfach eine E-Mail oder suchen Sie
Abmessungen
Gewicht: 8.3 Kg (18.4 lbs)
Technologien
Lichtquellen
Objektivlinsen
Vergrößerung
5X BF
10X BF
20X BF
50X BF
100X BF
150X EPI
NA
0.15
0.30
0.45
0.80
0.90
0.90
WD (mm)
20.00
15.80
3.00
1.00
1.00
1.50
Sichtfeld (FOV)1 (µm)
3378 x 2826
1689 x 1413
845 x 707
338 x 283
169 x 141
113 x 94
Räumliche Abtastung2 (µm)
1.38
0.69
0.34
0.13
0.07
0.05
Optische Auflösung3 (µm)
0.94
0.47
0.31
0.18
0.16
0.16
Systemrauschen4 (nm)
115
30
8
4
3
2
Maximaler Flankenwinkel5 (º)
9
17
27
53
64
64
Vergrößerung
2.5X TI
5X MC
10X MC
10X MR
20X MC
20X MR
50X MR
100X MR
NA
0.075
0.14
0.10
0.28
0.10
0.38
0.50
0.70
WD (mm)
10.30
13.00
25.00
8.00
16.70
6.00
3.60
2.00
Sichtfeld (FOV)1 (µm)
6756 x 5652
3378 x 2826
1689 x 1413
1689 x 1413
845 x 707
845 x 707
338 x 283
169 x 141
Räumliche Abtastung2 (µm)
2.76
1.38
0.69
0.69
0.34
0.34
0.13
0.07
Optische Auflösung3 (µm)
1.87
1.00
1.40
0.50
1.40
0.37
0.28
0.20
Systemrauschen4 (nm)
PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm mit PZT) CSI 1 nm
Maximaler Flankenwinkel5 (º)
4
8
6
16
6
22
30
44
Z-Performance
Z
GROB (Lineare Stufe)
FEIN (Piezoelektrischer Scanner mit kapazitivem Sensor)
Vertikaler Messbereich
40 mm
200 µm
Auflösung
5 nm
1.25 nm
Präzision und Wiederholbarkeit
Standard
Wert
U, σ
Technik
Stufenhöhe
48600 nm
U=300 nm, σ= 10 nm
Konfokal und CSI
7616 nm
U=79 nm, σ= 5 nm
Konfokal und CSI
941.6 nm
U=7 nm, σ= 1 nm
Konfokal und CSI
186 nm
U=4 nm, σ= 0.4 nm
Konfokal und CSI
44.3 nm
U=0.5 nm, σ= 0.1 nm
PSI
10.8 nm
U=0.5 nm, σ= 0.05 nm
PSI
Flächenrauheit (Sa)7
0.79 µm
U=0.04 µm, σ=0.0005 µm
Konfokal, AiFV und CSI
Profilrauheit (Ra)8
2.40 µm
U=0.03 µm, σ= 0.002 µm
Konfokal, AiFV und CSI
0.88 µm
U=0.015 µm, σ= 0.0005 µm
Konfokal, AiFV und CSI
0.23 µm
U=0.005 µm, σ= 0.0002 µm
Konfokal, AiFV und CSI
Auflösung 1220×1024 Pixel. Alle Messungen mit PZT.
Unsicherheit (U) nach ISO/IEC Guide 98-3:2008 GUM:1995, K=1.96 (Vertrauensniveau 95 %).
σ bei 25 Messungen.
7 Bereich 1x1mm. 8 Profillänge 4 mm.
Nehmen Sie Kontakt mit einem Experten auf
nach einem direkten Ansprechpartner in Ihrer Nähe.
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S neox sensor
Optischer 3D-Profilometer
Hellfeld
Interferometrie
