mm (英寸) 630 nm 530 nm 460 nm 575 nm 1 采用2/3”相机及 0.5X 场镜的最大视野。 2表面的单个像素点大小。 3 线条和空间值, 采用蓝光LED根据瑞利准则计算半衍射极限。 4 根据比较连续两次在垂直于光轴的校准镜片得到的差异计算系统噪音值。 5在光滑表面的最大可测角度。在粗糙表面可达86º。 1 采用2/3”相机及 0.5X 场镜的最大视野。 2表面的单个像素点大小。 3 线条和空间值, 采用蓝光LED根据瑞利准则计算半衍射极限。 4 根据比较连续两次在垂直于光轴的校准镜片得到的差异计算系统噪音值。 5在光滑表面的最大可测角度。在粗糙表面可达86º。 解答您的疑问！ 只需给我们发送电子邮件或搜索 解答您的疑问！ 只需给我们发送电子邮件或搜索
尺寸
重量：8.3 Kg (18.4 lbs)
光源
物镜性能
放大倍率
5X BF
10X BF
20X BF
50X BF
100X BF
150X EPI
数值孔径
0.15
0.30
0.45
0.80
0.90
0.90
工作距离 (mm)
20.0
15.8
3.0
1.0
1.0
1.5
视场范围1 (µm)
3378 x 2826
1689 x 1413
845 x 707
338 x 283
169 x 141
113 x 94
像素分辨率2 (µm)
1.38
0.69
0.34
0.13
0.07
0.05
光学分辨率3 (µm)
0.94
0.47
0.31
0.18
0.16
0.16
系统噪声4 (nm)
115
30
8
4
3
2
最大斜率5 (º)
9
17
27
53
64
64
放大倍率
2.5X TI
5X MC
10X MC
10X MR
20X MC
20X MR
50X MR
100X MR
数值孔径
0.075
0.14
0.10
0.28
0.10
0.38
0.50
0.70
工作距离 (mm)
10.3
13.0
25.0
8.0
16.7
6.0
3.6
2.0
视场范围1 (µm)
6756 x 5652
3378 x 2826
1689 x 1413
1689 x 1413
845 x 707
845 x 707
338 x 283
169 x 141
像素分辨率2 (µm)
2.76
1.38
0.69
0.69
0.34
0.34
0.13
0.07
光学分辨率3 (µm)
1.87
1.00
1.40
0.50
1.40
0.37
0.28
0.20
系统噪声4 (nm)
PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm with PZT) CSI 1 nm
最大斜率5 (º)
4
8
6
16
6
22
30
44
Z轴性能
Z
普通 (线性导轨)
精细 (配电容传感器的压电陶瓷晶体z轴)
行程
40 mm
200 µm
精度
5 nm
1.25 nm
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S neox sensor
3D Optical Profiler
明场
干涉
