技术 共聚焦 干涉 PSI | ePSI | CSI Ai 多焦面叠加 光源 630nm 530nm 460nm 575nm 尺寸 基座和立柱 控制台 物镜性能 共聚焦 / Ai 多焦面叠加 1最大视场系 3/2” 摄像头及光学 0.5X。 2表面的像素大小。 3 L&S:线条和空间, 蓝光波长。 4根据比较连续两次在垂直于光轴的校准镜片得到的差异计算系统噪音值。 5在光滑表面上，最多71º。在散射表面上，高达 86º PSI / ePSI / CSI 1最大视场系 2/3” 摄像头及光学 0.5X。 2表面的像素大小。 3 L&S:线条和空间蓝光波长。 4 根据比较连续两次在垂直于光轴的校准镜片得到的差异计算系统噪音值。对于干涉测量物镜、PSI，防震开启，10个相位平均值。控温房间，压电平台扫描仪实现0.01nm。绿色LED值（白色LED用于CSI）高清分辨率 5在光滑表面上，最多71º。在散射表面上，高达 86º。 系统配置 计算机和操作系统 解答您的疑问！ 只需给我们发送电子邮件或搜索 解答您的疑问！ 只需给我们发送电子邮件或搜索
mm (英寸)
MAG
5X BF
10X BF
20X BF
50X BF
100X BF
150X EPI
数值孔径
0.15
0.30
0.45
0.80
0.90
0.90
工作距离（毫米）
20.0
15.8
3.0
1.0
1.0
1.5
视场1 (µm)
3378 x 2826
1689 x 1413
845 x 707
338 x 283
169 x 141
113 x 94
空间采样2 (µm)
1.38
0.69
0.34
0.13
0.07
0.05
光学分辨率3 (µm)
0.94
0.47
0.31
0.18
0.16
0.16
系统噪声4 (nm)
115
30
8
4
3
2
最大倾斜度5 (º)
9
17
27
53
64
64
MAG
5X
10X
20X
50X
100X
150X
系统噪声4 (nm)
115
30
8
4
3
2
最大倾斜度5 (º)
9
17
27
53
64
64
MAG
2.5X TI
5X MC
10X MC
10X MR
20X MC
20X MR
50X MR
100X MR
数值孔径
0.075
0.14
0.10
0.28
0.10
0.38
0.50
0.70
工作距离（毫米）
10.3
13.0
25.0
8.0
16.7
6.0
3.6
2.0
视场1 (µm)
6756 x 5652
3378 x 2826
1689 x 1413
1689 x 1413
845 x 707
845 x 707
338 x 283
169 x 141
空间采样2 (µm)
2.76
1.38
0.69
0.69
0.34
0.34
0.13
0.07
光学分辨率3 (µm)
1.87
1.00
1.40
0.50
1.40
0.37
0.28
0.20
系统噪声4 (nm)
PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm with PZT) CSI 1 nm
最大倾斜度5 (º)
4
8
6
16
6
22
30
44
MAG
2.5X TI
5X MC
10X MC
10X MR
20X MC
20X MR
50X MR
100X MR
System noise4 (nm)
PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm with PZT) CSI 1 nm
Maximum slope5 (º)
4
8
6
16
6
22
30
44
计算机
8th generation Intel® Core™ i7 Processor
Display 3840×2160 pixels resolution (4K)(27″)
操作系统
Microsoft Windows 10, 64-bits
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