技术 共聚焦 干涉 PSI | ePSI | CSI Ai多焦面叠加 光源 630nm 530nm 460nm 575nm 尺寸 基座和立柱 控制台 物镜性能 共聚焦 / Ai 多焦面叠加 1最大视场系 3/2” 摄像头及光学 0.5X。 2表面的像素大小。 3 L&S:线条和空间, 蓝光波长。 4根据比较连续两次在垂直于光轴的校准镜片得到的差异计算系统噪音值。 5在光滑表面上，最多71º。在散射表面上，高达 86º PSI / ePSI / CSI 其他可选物镜: 可变反射率，Michelson、Mirau 及Linnik 1最大视场系 2/3” 摄像头及光学 0.5X。 2表面的像素大小。 3 L&S:线条和空间，根据瑞利准则计算半衍射极限。蓝光波长。 4 对于干涉物镜，10μm扫描范围。 5根据比较连续两次在垂直于光轴的校准镜片得到的差异计算系统噪音值。对于 PSI，防震开启，10 个相位平均值。控温房间，压电平台扫描仪实现0.01nm。 6在光滑的表面上，在粗糙表面上可达86º。 旋转台 所有数值均符合ISO1101，在20ºC+/-1º的抗振环境中。 计算机和操作系统 解答您的疑问！ 只需给我们发送电子邮件或搜索 解答您的疑问！ 只需给我们发送电子邮件或搜索
MAG
5X BF
10X BF
20X BF
50X BF
100X BF
150X EPI
数值孔径
0.15
0.30
0.45
0.80
0.90
0.90
工作距离（毫米）
23.5
17.5
4.5
1.0
1.0
1.5
视场1 (µm)
3378 x 2826
1689 x 1413
845 x 707
338 x 283
169 x 141
113 x 94
空间采样2 (µm)
1.38
0.69
0.34
0.13
0.07
0.05
光学分辨率3 (µm)
0.94
0.47
0.31
0.18
0.16
0.16
系统噪声4 (nm)
115
30
8
4
3
2
最大倾斜度5 (º)
9
17
27
53
64
64
MAG
5X BF
10X BF
20X BF
50X BF
100X BF
150X EPI
系统噪声4 (nm)
115
30
8
4
3
2
最大倾斜度5 (º)
9
17
27
53
64
64
MAG
5X MC
10X MC
10X MR
20X MC
20X MR
50X MR
100X MR
数值孔径
0.14
0.10
0.28
0.10
0.38
0.50
0.70
工作距离（毫米）
13.0
25.0
8.0
16.7
6.0
3.6
2.0
视场1 (µm)
3378 x 2826
1689 x 1413
1689 x 1413
845 x 707
845 x 707
338 x 283
169 x 141
空间采样2 (µm)
1.38
0.69
0.69
0.34
0.34
0.13
0.07
光学分辨率3 (µm)
1.00
1.40
0.50
1.40
0.37
0.28
0.20
系统噪声4 (nm)
PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm with PZT) CSI 1 nm
最大倾斜度5 (º)
8
6
16
6
22
30
44
MAG
2.5X TI
5X MC
10X MC
10X MR
20X MC
20X MR
50X MR
100X MR
System noise4 (nm)
PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm with PZT) CSI 1 nm
Maximum slope5 (º)
8
6
16
6
22
30
44
最大可测量的直径
200 毫米
最大夹紧直径10
20 毫米
最大工件重量
3 公斤
A轴精度
5 弧秒/度
A轴双向重复性
10 弧秒
B轴分辨率
0.5 弧秒
直线度误差11
3.6 微米 / 40 毫米
平行度错误11
53.9 微米 / 40 毫米
平面度误差12
20 微米
10 ER32夹头架。 11 根据ISO25178-2的St Flatness偏差在SiC参考平面镜和共焦采集模式下的20X物镜上进行。 12 在共聚焦采集模式和40mm评估长度下，所有值均采用20X物镜。
计算机
8th generation Intel® Core™ i7 Processor
Display 3840×2160 pixels resolution (4K)(27″)
操作系统
Microsoft Windows 10, 64-bits
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