照明光源 630nm 530nm 460nm 575nm 尺寸 物镜 共聚焦 / Ai 多焦面叠加 1 使用 3/2 英寸摄像头和 0.5 倍光学镜头时的最大视场角。 2 表面像素大小。 3 L&S: 线和空间。蓝光 LED 的数值。 4 系统噪声以垂直于光轴的校准镜上两次连续测量值之差测量。 5 在光滑表面上,可达 71º。在散射表面上,可达 86º。 PSI / ePSI / CSI 1 使用 3/2 英寸摄像头和 0.5 倍光学镜头时的最大视场角。 2 表面像素大小。 3 L&S: 线和空间。蓝光 LED 的数值。 4 系统噪声以垂直于光轴的校准镜上两次连续测量值之差测量。 5 在光滑表面上,可达 71º。在散射表面上,可达 86º。
毫米(英寸)
MAG
5X BF
10X BF
20X BF
50X BF
100X BF
150X EPI
数值孔径
0.15
0.30
0.45
0.80
0.90
0.90
工作距离(毫米)
20.0
15.8
3.0
1.0
1.0
1.5
视场1 (µm)
3378 x 2826
1689 x 1413
845 x 707
338 x 283
169 x 141
113 x 94
空间采样2 (µm)
1.38
0.69
0.34
0.13
0.07
0.05
光学分辨率3 (µm)
0.94
0.47
0.31
0.18
0.16
0.16
系统噪声4 (nm)
115
30
8
4
3
2
最大倾斜度5 (º)
9
17
27
53
64
64
MAG
5X BF
10X BF
20X BF
50X BF
100X BF
150X EPI
系统噪声4 (nm)
115
30
8
4
3
2
最大倾斜度5 (º)
9
17
27
53
64
64
MAG
5X MC
10X MC
10X MR
20X MC
20X MR
50X MR
100X MR
数值孔径
0.14
0.10
0.28
0.10
0.38
0.50
0.70
工作距离(毫米)
13.0
25.0
8.0
16.7
6.0
3.6
2.0
视场1 (µm)
3378 x 2826
1689 x 1413
1689 x 1413
845 x 707
845 x 707
338 x 283
169 x 141
空间采样2 (µm)
1.38
0.69
0.69
0.34
0.34
0.13
0.07
光学分辨率3 (µm)
1.00
1.40
0.50
1.40
0.37
0.28
0.20
系统噪声4 (nm)
PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm with PZT) CSI 1 nm
最大倾斜度5 (º)
8
6
16
6
22
30
44
MAG
5X MC
10X MC
10X MR
20X MC
20X MR
50X MR
100X MR
系统噪声4 (nm)
PSI / ePSI 0.1 nm (0.01 nm with PZT) CSI 1 nm
最大倾斜度5 (º)
8
6
16
6
22
30
44